高純度氣體
| 氣體 |
分子式 |
純度(%) |
氣體 |
分子式 |
純度(%) |
| 氧氣 |
O2 |
4N~6N |
一氧化碳 |
CO |
2N~4N |
| 氮氣 |
N2 |
4N~6N |
二氧化碳 |
CO2 |
2N~5N |
| 氬氣 |
Ar |
4N~6N |
一氧化氮 |
NO |
2N~4N |
| 氫氣 |
H2 |
4N~6N |
氧化亞氮 |
N2O |
2N~5N |
| 氦氣 |
He |
4N~6N |
氯氣 |
Cl2 |
2N~5N |
| 氖氣 |
Ne |
4N~5N |
二氧化硫 |
SO2 |
2N~4N |
| 氪氣 |
Kr |
4N~5N |
乙炔 |
C2H2 |
2N~5N |
| 氙氣 |
Xe |
4N~5N |
甲烷 |
CH4 |
3N~5N |
特殊氣體
| 種類 |
氣體 |
純度 |
| 電子級氣體 |
AsH3 |
5N ~ 6N |
| BCl3 |
4N ~ 5N |
| B2H6 |
2N ~ 4N |
| Cl2 |
4N ~ 5N |
| CHF3 |
2N ~ 5N |
| CH2F2 |
3N |
| CF4 |
4N ~ 5N |
| C2F6 |
4N |
| C3F8 |
4N ~ 5N |
| C4F8 |
4N |
| GeH4 |
5N |
| HBr |
5N |
| NF3 |
4N |
| NH3 |
5N ~ 6N |
| N2O |
5N |
| 5N5 |
| 5N8 |
| SiF4 |
4N |
| SiH4 |
4N ~ 6N |
| SiCl4 |
4N |
Si2H6
|
5N |
| SiHCl3 |
3N |
| SiH2Cl2 |
2N ~3N |
| SO2 |
4N |
| SF6 |
3N ~ 5N |
| PH3 |
5N ~ 6N |
| WF6 |
5N |
代客裝設配置服務
管線規劃—根據需求，提供各項專業氣體管路的規劃
安裝設置—可代客裝設配置氣體之空間規劃，如氣瓶櫃
氣體耗材，相關零件販售—閥件、接頭
依照氣體需求，使用不同的氣體容器/相關設備配送，方便客戶購買保存
